Jaké jsou běžné techniky spektrální detekce a jejich aplikace?
Zanechat vzkaz
1. Fourierova transformační infračervená spektroskopie (FTIR) :Používá se k detekci chemického složení a molekulární struktury čipového materiálu analýzou absorpčního spektra infračerveného světla, identifikuje specifické funkční skupiny a posoudí typ a čistotu materiálu
2. Ramanova spektroskopie :Technika nedestruktivního testování pro získání informací o molekulárních vibracích o materiálu analýzou změny energie po rozptylu fotonu, vhodnou pro kontrolu kvality polovodičových materiálů
3. Ultrafialové viditelné spektroskopie (UV-vis) :Vyhodnocení vlastností absorpce světla na povrchu čipu, detekce kontaminantů, tloušťky oxidu a dalších povrchových vlastností
4. Fluorescenční spektroskopie :Detekuje určité prvky nebo sloučeniny na čipu a identifikuje stopové nečistoty specifickými vlnovými délkami světla emitovaného po excitaci
5. poblíž infračervené spektroskopie (NIR) :měří koncentraci a složení materiálu a často se používá k detekci chemikálií se specifickými absorpčními píky v blízké infračervené oblasti
